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杜邦二氧化硅抛光液的争议以美国ITC给英特尔一年宽限落幕

浏览次数: 日期:2022-04-11

日前,有消息称美国国际贸易委员会 (ITC) 即将宣布禁止杜邦(DuPont)旗下产品Optiplane化学机械研磨浆(CMP slurry)进口美国,遭到了英特尔 (INTC-US) 的极力反对。

化学机械研磨浆是生产芯片所需的关键原料,用来研磨晶圆的表面,这款名为Optiplane的CMP浆料,由杜邦旗下的罗门哈斯(Rohm & Haas)在台湾和日本制造,这款研磨浆被CMC材料企业控告侵害专利权,ITC因而裁定禁止进口到美国。

根据CMC的主张,Optiplane浆料使用该企业旗下Cabot Microelectronics拥有的先进技术,即在浆料中使用二氧化硅粒子来研磨半导体,Cabot这个系列的浆料称为iDiel。

而英特尔虽不是此案的原告或被告,但是高调向ITC表达反对禁止进口立场,理由是:以美国为基地的晶片生产线,如果没有给24个月过渡期,就径自禁止使用Optiplane浆料的话,有违国家安全与经济利益。英特尔表示,这些浆料用于芯片制造过程中的不同步骤,浆料的细微变化将对制造环境带来巨大的影响,进口禁令会让芯片短缺问题更加严重。

ITC禁令对英特尔的伤害恐怕比其他晶圆代工厂更大,因为英特尔大多数产能依赖美国厂房,相较之下,拥有亚洲厂房的同业较不受该政策变化影响。

不过Cabot企业驳斥,芯片短缺仅是英特尔与罗门哈斯用来避免进口禁令的借口,芯片短缺实际上是一系列复杂经济因素的结果,与CMP浆料供给完全无关。

经过一番讨论后,美国国际贸易委员会仍裁定禁止Optiplane化学机械研磨浆进口,但表示正使用该侵权产品于进行中的半导体芯片制程的各个实体,最长可有一年时间的豁免,同意给予提出抗议的芯片大厂英特尔(Intel)与其他同样来不及转换别家研磨浆的企业一年宽限期,明年一整年还可继续由台湾或日本进口这款浆料。

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